[19p-C104-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-C104-12] P(VDF-TrFE)厚膜の作製とその電気特性

〇松下 裕司¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大院工)

キーワード：強誘電体、熱伝導解析、強誘電性ポリマー

電気熱量効果の材料として応用が期待される、P(VDF-TrFE)の数µmの厚膜の作製と電気特性の評価を行った。結晶化アニールを炉を用いて行うことで、ホットプレートと比較し結晶性ならびに強誘電性の大幅な向上を示した。P(VDF-TrFE)の低い熱伝導率（0.17 W/m·K）により、ホットプレート上では均一な熱処理が行えていないこと原因であると考えられる。