[19p-C104-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19p-C104-15] Pb(Zr,Ti)O₃薄膜の電圧印加結晶構造変化の組成依存性

〇(P)譚 ゴオン¹、丸山 和樹¹、金光 勇弥¹、西岡 慎太郎¹、逢坂 広己¹、小金澤 智之²、梅垣 俊仁¹、神野 伊策¹ (1.神戸大学、2.JASRI)

キーワード：X線回折その場観察、PZT薄膜、結晶構造解析

本研究は、圧電効果を結晶学的な観点で定量的に調べるために、電圧印加結晶構造変化の組成依存性を調査した。組成比の異なるPZT薄膜に電圧を印加した際の面外、面内方向での結晶構造変化を放射光X線回折により観察し、電圧印加による結晶格子の可逆的な伸縮を捉えることに成功した。またカンチレバー法により見積もったマクロ的な圧電定数と比較することにより、圧電効果の結晶学的因子を考察した。