[19p-C104-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-C104-18] ミストCVD法によるε-Ga₂O₃薄膜の結晶成長とその電気的特性評価

〇田原 大祐¹、西中 浩之¹、野田 実¹、吉本 昌広¹ (1.京工繊大)

キーワード：酸化ガリウム、強誘電体、準安定相

主にパワーデバイス応用分野で注目されている酸化ガリウム(Ga₂O₃ )は結晶多形であり、α, β, γ, δ, ε相が知られている。本研究では、GaNやAlNなどと同じ六方晶系の結晶構造を有する準安定相ε-Ga₂O₃ に注目している。2013年にc軸反転対称性の欠如した結晶構造を有することが明らかになったこの新材料について、我々はミストCVD法による結晶成長を試み、その結晶学的・電気的特性について評価した。