[19p-C104-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-C104-5] ZnOナノワイヤ上でのHf_1-xZr_xO₂薄膜の結晶化

〇竹内 洋平¹、兼松 宏行²、小高 雄哉²、福島 宏昌²、藤沢 浩訓^1,2、中嶋 誠二^1,2、清水 勝^1,2 (1.兵庫県大院工、2.兵庫県大工)

キーワード：酸化亜鉛、ナノワイヤ、酸化ハフ二ウム