[19p-C104-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19p-C104-7] 水熱法で合成したPb(Zr,Ti)O₃キューブの圧電特性

〇高田 瑶子¹、三村 憲一¹、加藤 一実¹ (1.産業技術総合研究所)

キーワード：チタン酸ジルコン酸鉛、水熱合成法、ナノクリスタル

Pb(Zr,Ti)O₃（PZT）は、ペロブスカイト型の強誘電体材料であり、モルフォトロピック相境界付近において優れた強誘電性および圧電特性を示すことが知られている。本研究では、PZT前駆体溶液中のZr/TiがPZTキューブの形態、結晶性および圧電特性に及ぼす影響を調査した。Zr/Tiモル比が52/48のPZT前駆体溶液中を用いた結果、合成した単一PZTキューブの組成はほぼ仕込み組成と同等であり、圧電特性が得られることを確認した。