[19p-C104-1~19] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [19p-C104-9] Preparation of orientation-controlled (K,Na)NbO₃ films from various Nb source by hydrothermal method and their film properties.

〇(M1)Akinori Tateyama¹, Yoshiharu Ito¹, Yoshiko Nakamura¹, Takao Shimizu¹, Yuichiro Orino¹, Minoru Kurosawa¹, Hiroshi Uchida², Takahisa Shiraishi³, Takanori Kiguchi³, Toyohiko Konno³, Mutsuo Ishikawa^1,4, Nobuhiro Kumada⁵, Hiroshi Funakubo¹ (1.Tokyo Tech., 2.Sophia Univ., 3.Tohoku Univ., 4.Toin Univ. Yokohama, 5.Yamanashi Univ.)

Keywords:Piezoelectric, Hydrothermal synthesis

本研究では、水熱合成法を用いた(K,Na)NbO₃膜の作製において、種々のニオブ原料での製膜を行った。その結果、粉末の生成を抑制し、膜の析出効率を上昇させ、1回の合成で得られる膜厚の増加に成功した。当日は各特性の膜厚依存性について発表する予定である。