[19p-C104-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19p-C104-9] 種々のNb原料から水熱合成法で作製した(K,Na)NbO_３配向膜の合成と特性評価

〇(M1)舘山 明紀¹、伊東 良晴¹、中村 美子¹、清水 荘雄¹、折野 裕一郎¹、黒澤 実¹、内田 寛²、白石 貴久³、木口 賢紀³、今野 豊彦³、石河 睦生^1,4、熊田 伸弘⁵、舟窪 浩¹ (1.東工大、2.上智大、3.東北大、4.桐蔭横浜、5.山梨大)

キーワード：圧電体、水熱合成

本研究では、水熱合成法を用いた(K,Na)NbO₃膜の作製において、種々のニオブ原料での製膜を行った。その結果、粉末の生成を抑制し、膜の析出効率を上昇させ、1回の合成で得られる膜厚の増加に成功した。当日は各特性の膜厚依存性について発表する予定である。