[19p-C301-1~17] 3.11 フォトニック構造・現象

[19p-C301-16] 単一ナノワイヤの光電流特性の評価とフォトニック結晶への集積

〇滝口 雅人^1,2、佐々木 智²、舘野 功太^1,2、チェン エドワード²、野崎 謙悟^1,2、章 国強^1,2、倉持 栄一^1,2、新家 昭彦^1,2、納富 雅也^1,2 (1.ＮＴＴ　ﾅﾉﾌｫﾄﾆｸｽｾﾝﾀ、2.ＮＴＴ　物性研)

キーワード：ナノワイヤ、フォトニック結晶、光電流

ナノワイヤ（NW）は多機能性で静電容量も非常に小さいく、フォトニック結晶（PhC）に集積し光学特性を制御することで高速動作する光電素子を可能にする。これまでシリコン（Si） PhC上のNWレーザ[1]や、単一NW-LED[2]を作製した。今回は、将来のNW受光器を念頭に、直径100nm 程度のInP/InAsP NWを用い電流注入構造を作製し、光電流特性を評価した。またSi-PhCに集積した電流注入NWも作製した。
[1] M. Takiguchi, et.al., APL Photonics, 2, 046106 (2017)
[2] 滝口他, 第77回応用物理学会秋季学術講演会、6p-A405-3