[19p-C301-1~17] 3.11 Photonic structures and phenomena

[19p-C301-3] Introduction of Waveguide-coupled Nanocavity in 3D Photonic Crystals by Batched Wafer Bonding Process

〇Keisuke Kitano¹, Kenji Ishizaki¹, Susumu Noda¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:Photonic Crystal

我々は，ストライプ積層型3次元フォトニック結晶について，より多層の構造を簡便に形成する手法として，複数の層を一括して融着し積層する新たな作製法の開発を行ってきた．今回，本手法を用いて，中央に共振器を導入した32層3次元フォトニック結晶を形成し，実験評価を行った．その結果Q値として~15,000が得られ，層数の増大により従来の16層構造の内部に埋め込んだ共振器を上回るQ値が確認された．