[19p-C301-1~17] 3.11 フォトニック構造・現象

[19p-C301-3] 複数層一括融着により形成した3次元フォトニック結晶への導波路-ナノ共振器結合構造の導入

〇北野 圭輔¹、石崎 賢司¹、野田 進¹ (1.京大院工)

キーワード：フォトニック結晶

我々は，ストライプ積層型3次元フォトニック結晶について，より多層の構造を簡便に形成する手法として，複数の層を一括して融着し積層する新たな作製法の開発を行ってきた．今回，本手法を用いて，中央に共振器を導入した32層3次元フォトニック結晶を形成し，実験評価を行った．その結果Q値として~15,000が得られ，層数の増大により従来の16層構造の内部に埋め込んだ共振器を上回るQ値が確認された．