[19p-C303-1~19] 3.8 光計測技術・機器

[19p-C303-19] レイリー範囲を利用した微小ファブリ・ペロー干渉計の開発 (2)

〇辻家 祐介¹、河村 良行^1,2、日野 史也²、丸林 真也² (1.福岡工大院工、2.福岡工大工)

キーワード：ファブリ・ペロー干渉計、マイクロ片持ち梁、零点振動

本研究は，マイクロ片持ち梁の熱振動を制振することで，量子的零点振動の計測を目指している．近年の研究により計測系の持つノイズレベルが熱振動制振の限界を決定する主な要因となることが明らかとなった．より高性能な制振の実現のため，計測器の感度を向上させ，S/Nを上昇させる必要がある．我々はレイリー範囲内で構成する微小ファブリ・ペロー干渉計を開発し，約10倍の感度向上を実現し，計測ノイズレベルを1/100まで低減した．