[19p-D104-7~21] 10.1 新物質・新機能創成（作製・評価技術）

[19p-D104-10] 負の超磁歪を有する垂直磁化アモルファスSmFe₂薄膜

冨田 誠人¹、石山 栞¹、石谷 優剛¹、〇高村 陽太¹、中川 茂樹¹ (1.東工大工学院)

キーワード：SmFe2、逆磁歪効果、STT

逆磁歪MTJのフリー層への応用にむけ，スパッタでSmFe₂ 薄膜を系統的に作成し，磁気異方性と磁歪特性を調べた．
SmFe₂薄膜を200˚C以下の成膜温度かつ500˚C以上のアニール温度で作製した場合，垂直磁気異方性が発現し，-920 ppmという大きな負の磁歪定数を有する垂直磁化薄膜の作製に成功した．