[19p-F206-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[19p-F206-1] さまざまな面指数を持つcBN表面のナノインデンテーション

田村 貴大¹、Pasi Jalkanen²、Michael Trebara²、柳瀬 隆¹、長浜 太郎¹、Roman Nowak²、〇(D)島田 敏宏¹ (1.北大工、2.Aalto大)

キーワード：立方晶窒化ホウ素、ナノインデンテーション

我々は200μm程度の微小な結晶の単結晶X線回折と機械研磨、イオンビーム研磨を用いて任意のcBN表面を作製する手法を開発している。今回はさまざまな面指数を持つcBN表面を調製し、ナノインデンターによる評価を行った。ある面では58±3GPaで 圧子が急に沈み込む”pop-in”の現象が初めて観察された。面指数を決定して機構を議論する。