[19p-F206-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[19p-F206-2] 同軸型アークプラズマ堆積法により超鋼合金上に堆積される超ナノ微結晶ダイヤモンド膜の機械特性に及ぼすシリコンドープの効果

〇吉武 剛¹、エギザ モハメド^1,2、村澤 功基^1,3、モハメド アリ アリ^1,4、福井 康雄³、権田 英修³、櫻井 正俊³ (1.九大総理工、2.カフルシェイフ大、3.オーエスジー（株）、4.アル＝アズハル大)

キーワード：ナノ微結晶ダイヤモンド、硬質被膜、同軸型アークプラズマ

同軸型アークプラズマ堆積法により超硬合金上にシリコンドープされた超ナノ微結晶ダイヤモンド膜を堆積した．高硬度化を目的としてシリコンドープを施したが，超鋼合金からのコバルト原子の膜への拡散を誘起されてしまい，むしろアンドープ膜に比べて軟化してしまうことが分かった．一方，アンドープ層をバッファ層として採用するとCo拡散は殆ど起こらず，硬度はアンドープの50から60 GPaに高めることが分かった．