[19p-F214-1~12] CS4 6.5 & 7.6 Code-sharing session

[19p-F214-12] In Situ Transmission Electron Microscopy of Hafnium Nanocontacts under Application of Pulsed Electric Currents

〇Masayuki Nakanishi¹, Tokushi Kizuka¹ (1.Univ. Tsukuba)

Keywords:nanocontacts, TEM, phase transition

電子デバイスの微細化が進む中で、素子同士を接続するための金属ナノ接点の特性が注目されている。本研究では、ハフニウムナノ接点のパルス通電による構造変化をその場観察し、電気伝導特性を調査した。