[19p-F214-1~12] CS4 6.5 表面物理・真空,7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

[19p-F214-12] その場電子顕微鏡法によるパルス通電時のハフニウムナノ接点の観察

〇中西 真之¹、木塚 徳志¹ (1.筑波大)

キーワード：ナノ接点、透過電子顕微鏡、相転移

電子デバイスの微細化が進む中で、素子同士を接続するための金属ナノ接点の特性が注目されている。本研究では、ハフニウムナノ接点のパルス通電による構造変化をその場観察し、電気伝導特性を調査した。