[19p-F214-1~12] CS4 6.5 表面物理・真空,7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

△ [19p-F214-8] Si(110)上酸化膜の還元領域の観測

〇(PC)矢野 雅大¹、魚住 雄輝²、保田 諭¹、朝岡 秀人¹ (1.原子力機構先端研、2.日立パワー)

キーワード：STM、酸化膜

Si(110)上の酸化膜を脱離する過程をリアルタイムでSTMを用いて観測し、SiO₂が還元している領域を発見した。