[19p-F214-1~12] CS4 6.5 表面物理・真空,7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

[19p-F214-9] YSZ薄膜のイオン及び電子線照射影響の観察

〇田中 美代子¹ (1.物材機構)

キーワード：イットリア安定化ジルコニア、照射損傷

イットリア安定化ジルコニア(YSZ)試料へ低エネルギーイオン及び電子線を照射した際の構造変化をTEMにより評価した。5kV-Arイオンミリング後、超高真空チャンバ内で5kVの電子線照射されたYSZ(100)試料では、電子線刺激脱離が起きるとともに表面残留物と基板との化学反応が促進されていた。