[19p-P10-1~6] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[19p-P10-1] 歪みGeチャネル構造におけるPドープを用いたパラレル伝導の抑制

〇澤田 浩介¹、高士 孝司¹、ミロノフ マクシム²、澤野 憲太郎¹ (1.都市大院工、2.ウォーリック大)

キーワード：半導体、シリコンゲルマニウム