[19p-P11-1~31] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19p-P11-28] スパッタ成長ZnO単結晶層を用いたH₂ガスセンサの開発

〇久米井 俊哉¹、仲道 将太¹、藤川 明日香¹、小倉 康平¹、信太 智貴¹、水野 愛¹、安藤 毅¹、篠田 宏之¹、六倉 信喜¹ (1.東京電機大工)

キーワード：ZnO層、スパッタ、H2ガスセンサ

本研究では超高真空高周波マグネトロンスパッタ法を用いてZnO単結晶層の成長を行った．ガスセンサ用の材料としてこの単結晶層を用いることで従来のガスセンサと比較して高感度な検出が期待できる．今回はH₂ガスセンサを作製しその感度特性について検討を行った．