[19p-P11-1~31] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19p-P11-6] マグネトロンスパッタ法により成膜された Al 添加 ZnO 透明導電多結晶膜の電気・構造特性の面内分布に対する成膜アルゴンガスの影響

〇野本 淳一¹、牧野 久雄¹、山本 哲也¹ (1.高知工科大総研)

キーワード：透明導電膜、酸化亜鉛