[19p-P2-1~9] 1.6 Ultrasonics

△ [19p-P2-6] Influence of interface void on resonance properties of leaky SAW on LiTaO₃/Quartz structure

〇(M1)Junki Hayashi¹, Kosuke Yamaya¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Haruka Suzaki², Toshifumi Yonai³, Kazuhito Kishida³, Jun Mizuno² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Waseda Univ., 3.The Japan Steel Works, Ltd.)

Keywords:leaky SAW, interface void, bonded structure

本報告では，高速・高結合・高安定なLSAW基板構造の実現に向け，異種材料接合時に発生する界面のボイドによる共振特性への影響を数値解析により調査した．有限要素法により，LT薄板と水晶基板の間に空気部分をモデル化した構造を解析した．ボイドを含むことにより伝搬減衰が増大した一方，SAW波長に対して，ある程度のボイドの大きさの許容範囲が存在することが明らかとなった．これは波長比で換算すると1/10波長以下である．