[19p-P2-1~9] 1.6 超音波

△ [19p-P2-6] LiTaO₃/水晶構造上のリーキーSAW共振特性の界面ボイドによる影響

〇(M1)林 純貴¹、山谷 浩介¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、須崎 遥²、米内 敏文³、岸田 和人³、水野 潤² (1.山梨大学、2.早稲田大学、3.日本製鋼所)

キーワード：漏洩弾性表面波、界面ボイド、接合構造

本報告では，高速・高結合・高安定なLSAW基板構造の実現に向け，異種材料接合時に発生する界面のボイドによる共振特性への影響を数値解析により調査した．有限要素法により，LT薄板と水晶基板の間に空気部分をモデル化した構造を解析した．ボイドを含むことにより伝搬減衰が増大した一方，SAW波長に対して，ある程度のボイドの大きさの許容範囲が存在することが明らかとなった．これは波長比で換算すると1/10波長以下である．