[19p-P2-1~9] 1.6 Ultrasonics

△ [19p-P2-7] Evaluation of piezoelectric Ta₂O₅ thin film by the line-focus-beam ultrasonic material characterization system

〇(M1)Ryota Suenaga¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Yuji Ohashi², Mototaka Arakawa², Jun-ichi Kushibiki² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Tohoku Univ.)

Keywords:surface acoustic wave, line-focus-beam ultrasonic material characterization system

直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムを用いて、合成石英ガラス基板上にX軸配向圧電性Ta₂O₅薄膜を成膜した試料上に伝搬する漏洩弾性表面波(LSAW)の位相速度と伝搬減衰の測定を行った。薄膜の弾性特性は作製条件に強く依存することから、LFB-UMCの位相速度の測定値と理論値の間には相違が見られた。今後、Ta₂O₅薄膜の材料定数を再算定し、LFB-UMCの伝搬減衰の測定値から、減衰の理論値を差し引くことで音響損失を評価する。