[19p-P2-1~9] 1.6 超音波

△ [19p-P2-8] ScAlN薄膜/水晶基板またはサファイア基板構造における縦型リーキーSAW伝搬特性の理論解析

〇澤田 直弥¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大工)

キーワード：弾性表面波デバイス、ScAlN薄膜