[19p-P4-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[19p-P4-15] 高温高圧合成ダイヤモンド基板上のホモエピタキシャルCVD成長初期段階で形成されるCVDダイヤモンド単結晶薄膜中の結晶欠陥の抑制

〇丸岡 憲史¹、毎田 修¹、伊藤 利道¹ (1.阪大院工)

キーワード：ダイヤモンド