[19p-P5-1~39] 6.3 Oxide electronics

[19p-P5-21] Resistance reduction of self-standing FTO nanofiber membrane

〇Akimasa Ichigi¹, Muhammad Zobayer BinMukhlish¹, Teruaki Nomiyama¹, Yuji Horie¹ (1.Kagoshima Univ.)

Keywords:nanofiber, FTO, flexible

スズドープ酸化インジウム(ITO)透明導電ナノファイバは、その耐熱性が低いことや原材料費の高さが様々な応用への問題点となる。そこで、フッ素ドープ酸化スズ(FTO)をナノファイバ化しITOナノファイバと置き換え、比較的安価で耐熱性が十分にある透明導電ナノファイバの実現を目指した。ナノファイバ膜の低抵抗化のため、成膜時の基板温度や原料液の組成変化により抵抗率を100分の1未満にすることができた。