[19p-P5-1~39] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-P5-22] ε-Ga₂O₃のエピタキシャル合成と誘電特性評価

〇遊佐 昴¹、岡 大地¹、福村 知昭^1,2,3 (1.東北大理、2.東北大 WPI-AIMR、3.東北大 CSRN)

キーワード：酸化ガリウム、ミストCVD、エピタキシャル薄膜