[19p-P5-1~39] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-P5-26] ゾル-ゲル法で作製した不純物添加AlO_x薄膜の特性

〇南谷 勇樹¹、安部 功二¹ (1.名工大)

キーワード：酸化アルミニウム