[19p-P5-1~39] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-P5-8] Nd_0.6Sr_0.4FeO_3-δ薄膜の歪み効果と電気特性

〇(M2)並木 航¹、髙栁 真^1,2、土屋 敬志²、簑原 誠人³、堀場 弘司³、組頭 広志³、樋口 透¹ (1.東理大理、2.物材機構、3.高エネ研)

キーワード：酸化物薄膜、電子構造

Nd_1-xSr_xFeO_3-δ(NSFO)多結晶を作製し、電気特性と電子構造においてSr置換効果を検証した。さらに、RFマグネトロンスパッタ法を用いて、NSFO(x=0.4)の薄膜を作製した。このNSFO薄膜作製の報告は他になく、我々のグループが初の報告である。多結晶と薄膜では、結晶対称性及び電子構造に変化が現れた。価電子帯の状態密度が増え、フェルミ準位が伝導帯側に位置することから、キャリア種の変化が見込まれる。