[19p-P6-1~17] 6.4 薄膜新材料

[19p-P6-17] MOCVD法で作製した固体電解質向けLiPON膜の特性

〇浮島 禎之¹、塚原 尚希¹ (1.アルバック未来研)

キーワード：全固体電池、有機金属化学気相成長法、リチウムイオン二次電池

安全性の高い次世代二次電池として、電解質を固体化した全固体電池が期待されており、盛んに研究開発がなされている。セルの低抵抗化のために電解質層の薄膜化が必要とされているが、従来のスパッタ法や蒸着法では三次元形状に追随できず、不均一な成膜となってしまう。我々は、MOCVD法を用いて窒化リン酸リチウム（LiPON）の成膜を行い、条件の最適化により安定成膜及び三次元形状基板への均一成膜が可能となった。