[19p-P8-1~13] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[19p-P8-6] 光伝導を利用したHF溶液中でのポーラスシリコンナノ構造のフォトエッチング観測

ジェローズ ベルナール¹、〇不破 弘樹²、近藤 英一²、金 蓮花² (1.名古屋大工、2.山梨大工)

キーワード：ナノ結晶、ポーラスシリコン