[20a-A402-1~11] 3.9 テラヘルツ全般

△ [20a-A402-10] フェムト秒レーザー加工によるテラヘルツ波反射防止モスアイ構造の作製

〇櫻井 治之¹、根本 夏紀¹、小西 邦昭¹、桜井 雄基²、片山 伸彦²、松村 知岳²、湯本 潤司¹、五神 真¹ (1.東大院理、2.東大 Kavli IPMU)

キーワード：テラヘルツ、レーザー加工、反射防止膜

THz波の高強度化や検出の高感度化が重要となる場面では、THz光学素子の界面反射の抑制によるロスの低減が重要な課題となる。本発表では、フェムト秒レーザー加工を用いて、THz光学材料である高抵抗シリコンの表面に微細モスアイ反射防止膜構造を作製し、テラヘルツ領域における広帯域な反射防止性能を実現した。さらに、このモスアイ構造を用いてLiNbO₃結晶からのTHz外部取り出し効率の向上に成功した。