2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.9 テラヘルツ全般

[20a-A402-1~11] 3.9 テラヘルツ全般

2018年3月20日(火) 09:00 〜 12:00 A402 (54-402)

久武 信太郎(岐阜大)、諸橋 功(情通機構)

09:45 〜 10:00

[20a-A402-4] 3Dプリンティングと超臨界流体薄膜堆積法による金属コーティングを活用した3次元テラヘルツデバイス作製

趙 ユウ1、森下 広隆2、小西 邦昭3、安河内 裕之3、添田 建太郎3、湯本 潤司3、五神 真3、下山 裕介1、霜垣 幸浩1、〇百瀬 健1 (1.東大院工、2.東大工、3.東大院理)

キーワード:超臨界流体薄膜堆積法、3次元テラヘルツデバイス、3Dプリンター

3Dプリンタにより作製した微細ポリマー三次元構造に金属薄膜をコートし3次元テラヘルツデバイスを自在に作製する手法を開発した。中でも,高アスペクト比3次元構造内への薄膜形成が可能な超臨界流体薄膜堆積法(SCFD)を活用することが重要であり,プロセス詳細と共に作製したテラヘルツデバイスを報告する。