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[20a-A402-4] 3Dプリンティングと超臨界流体薄膜堆積法による金属コーティングを活用した3次元テラヘルツデバイス作製
キーワード:超臨界流体薄膜堆積法、3次元テラヘルツデバイス、3Dプリンター
3Dプリンタにより作製した微細ポリマー三次元構造に金属薄膜をコートし3次元テラヘルツデバイスを自在に作製する手法を開発した。中でも,高アスペクト比3次元構造内への薄膜形成が可能な超臨界流体薄膜堆積法(SCFD)を活用することが重要であり,プロセス詳細と共に作製したテラヘルツデバイスを報告する。