[20a-A402-1~11] 3.9 テラヘルツ全般

[20a-A402-5] 3Dプリンティングと超臨界流体薄膜堆積法による金属コーティングで作製したテラヘルツハイパスフィルターの応答特性評価

〇小西 邦昭¹、添田 建太朗¹、安河内 裕之¹、趙 ユウ²、森下 広隆³、下山 裕介²、霜垣 幸浩²、百瀬 健²、湯本 潤司¹、五神 真¹ (1.東大院理、2.東大院工、3.東大工)

キーワード：テラヘルツ、メタマテリアル、３Dプリンター

光硬化樹脂型の3Dプリンティング技術と表面金属コーティング技術を組み合わせることにより、メタマテリアルや導波管のような、テラヘルツ波制御のための3次元微細構造が作製できる。今回我々は、旧来のめっき技術に代わり、より高アスペクト構造に適用可能な超臨界流体薄膜堆積法を金属コーティング技術として用いて作製した3次元構造が、テラヘルツハイパスフィルターとして良好な応答特性を示すことを明らかにした。