[20a-B303-1~11] 7.2 電子ビーム応用

[20a-B303-8] 電子ビーム誘起堆積 Pt を用いた自己検出型カンチレバーの変位感度

樫田 健汰¹、〇若家 冨士男¹、村上 勝久²、山下 隼人^1,3、宮戸 祐治¹、阿保 智¹、阿部 真之¹ (1.阪大院基礎工、2.産総研、3.JSTさきがけ)

キーワード：ビーム誘起堆積、カンチレバー

電子ビーム誘起堆積 Pt をひずみセンサーとして利用した自己検出型カンチレバーの変位感度の向上を目的として，ひずみセンサーの膜厚とポストアニール温度に対する感度の依存性を調べた。膜厚に関しては 50から 170 nm まで調べた結果，115 nm で感度が最大となった。ポストアニールに関しては，250℃のときに感度が最大となった。