[20a-B403-1~10] 7.5 イオンビーム一般

△ [20a-B403-1] ガラス円筒面チャネルによりガイドされた低速Ar多価イオンビームの運動エネルギー

〇石井 州¹、青木 孝祐²、本橋 健次^1,2 (1.東洋大院理工、2.東洋大理工)

キーワード：イオンビームガイド、多価イオン

ガラス毛細管による多価イオンビームの集束・偏向（イオンビームガイド効果）の研究は，透過イオンのエネルギーの測定例が皆無のため，詳細はよく分かっていない。本研究では「円筒面チャネル」を使用し，そこに多価イオンを入射した際の透過粒子の価数，速さ，運動エネルギーの測定を試みた。結果，円筒面チャネルによるガイド効果を確認し，±3°以内のチルト角で一定の価数，速さ，運動エネルギーを保持することを見出した。