[20a-B403-1~10] 7.5 イオンビーム一般

△ [20a-B403-2] 低角スパッタ粒子入射を用いたc軸傾斜反転ジグザグScAlN圧電薄膜の成長とレクテナ昇圧素子への応用検討

〇(M1)唐澤 嶺^1,3、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大院・先進理工、2.JST さきがけ、3.材研)

キーワード：スカンジウム窒化アルミ、圧電トランス、レクテナ