[20a-C103-1~11] 6.4 薄膜新材料

[20a-C103-9] スパッタリング法による金属薄膜成膜時のRHEED振動の観察

〇小島 泰介¹、柳原 英人¹ (1.筑波大)

キーワード：スパッタリング法、反射高速電子線回折、層状成長