[20a-C204-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20a-C204-1] Ar/H₂プラズマによる腐食・変色銀の還元とその場発光分光

〇(M1)塚本 匡秋¹、細見 圭¹、高廣 克己¹、西山 文隆²、横山 新² (1.京都工繊大工芸、2.広島大ナノ・バイオ融合研)

キーワード：腐食銀、還元、混合プラズマ

銀は硫化水素や塩素ガスなど腐食性ガスとの反応により表面が変色し腐食が進行する。
アルゴンプラズマに曝露することで硫化銀が金属銀へ還元することはすでに報告されているが、その還元機構はいまだ明確ではない。
本研究はプラズマによる還元の主因を明らかにするため、腐食した銀試料をアルゴン／水素ガスによるプラズマに曝露し、曝露中のプラズマ発光分光を行うとともに、プラズマ曝露前後の銀試料の表面組成変化を調査した。