[20a-C304-1~9] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[20a-C304-8] Thermal Conductivity Measurement of AlN Utilizing Resistance Rise of Suspended Wire

〇(M1)Ko Akiba¹, Yuto Goi¹, Hiroya Ikeda¹, Hiroaki Satoh¹, Ryo Yamato², Tianzhuo Zhan², Takanobu Watanabe², Takashi Matsukawa³, Hiroshi Inokawa¹ (1.Shizuoka Univ., 2.Waseda Univ., 3.AIST)

Keywords:thermal conductivity, AlN

熱電発電素子や熱型光検出器の性能評価を行う上で、構成材料の熱伝導率を把握することは非常に重要である。今回、絶縁性と高い熱伝導性を兼ね備える材料として期待されるAlN薄膜の面内方向（横方向）に伝わる熱伝導率κを、熱絶縁された細線の通電に伴う抵抗値の上昇から測定したので報告する。