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[20a-D102-6] ペンタセンTFT構造のタイムドメインリフレクトメトリ
キーワード:タイムドメインリフレクトメトリ、キャリア注入機構
我々は有機半導体トランジスタのキャリア注入過程を測定する方法として、タイムドメインリフレクトメトリを提案している。この手法は試料へ矩形波を送出し、その反射波の波形から試料の瞬時的なインピーダンスを測定する手法である。本研究では、ペンタセンTFT構造におけるキャリア注入に伴うインピーダンス変化を解析し、キャリアの膜厚方向及び面内方向の注入ダイナミクスについて議論する。