[20a-F104-1~8] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

△ [20a-F104-4] 液中レーザー溶融法によるシリコンサブミクロン球状粒子作製とその電気伝導特性

〇若月 雄哉¹、越崎 直人¹、石川 善恵²、池上 浩³ (1.北大工、2.産総研、3.九大工)

キーワード：シリコン、サブミクロン球状粒子、電気伝導特性

シリコンは様々な分野で応用が期待されている材料であり，液中レーザー溶融法という手法を用いることで，シリコンのサブミクロンサイズの球状粒子が作製可能であることを報告してきた．今回の実験ではシリコンウェハ上に作製した粒子のコロイド溶液を滴下し，シリコンウェハと粒子の間に電流を流すことで粒子の電気伝導特性の評価を行った．その結果，粒子に電流が流れるとき，整流作用を示すことが確認できた．