2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[20a-F214-1~9] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2018年3月20日(火) 09:45 〜 12:00 F214 (61-214)

有元 圭介(山梨大)

10:45 〜 11:00

[20a-F214-5] In-situ n型ドープGe-on-Siにおけるポストアニールの影響

熊澤 祐太1、徐 学俊1、澤野 憲太郎1、丸泉 琢也1 (1.都市大)

キーワード:ゲルマニウム、ポストアニール