10:00 AM - 10:15 AM
[20a-G202-5] Vacuum deposition of CsPbI3 layers on textured Si for perovskite / Si tandem solar cells
Keywords:perovskite, tandem, vacuum deposition
ペロブスカイト/Siタンデム太陽電池は高効率太陽電池として期待されるが、従来の溶液塗布法では、反射防止テクスチャSi上にはペロブスカイト層のカバレージの良い製膜ができない。そこで、テクスチャSi上への真空蒸着によるCsPbI3ペロブスカイト層の製膜を試みた。異なる添加剤を含む2種類のエッチング液を用いてSiウエハ上に形成したサイズの異なるテクスチャに対し、CsPbI3ペロブスカイトを真空蒸着し、テクスチャ上に均一な膜厚のCsPbI3層をカバレージ良く製膜できることを確認した。