[20a-P1-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [20a-P1-4] ホール測定によるNi/SiC界面に形成されたフェムト秒レーザー改質層の電気特性評価

〇川上 博貴¹、直井 美貴¹、富田 卓朗¹ (1.徳島大工)

キーワード：オーミック電極、フェムト秒レーザー