[20a-P1-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[20a-P1-6] ホログラフィック紫外レーザー加工

〇小野田 涼¹、長谷川 智士¹、早崎 芳夫¹ (1.オプティクス教育研究センター)

キーワード：レーザー加工

フェムト秒第2高調波を用いた紫外レーザー加工は，フェムト秒基本波による近赤外レーザー加工と比較して，理論上集光ビーム径が半分になるため，より微細な加工を可能する．また，高いフォトンエネルギーによる電子励起を介して，分子間結合を直接解離するため，熱影響を低減する.
本報告では，紫外レーザーを用いた加工を行った．また，加工処理速度を向上させるために，計算機ホログラムによる多点同時加工を行った．