2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

3 光・フォトニクス » 3.8 光計測技術・機器

[20a-P2-1~17] 3.8 光計測技術・機器

2018年3月20日(火) 09:30 〜 11:30 P2 (ベルサール高田馬場)

09:30 〜 11:30

[20a-P2-6] 多波長共通光路位相シフト干渉顕微鏡の研究

陳 軍1、平松 昌晃1、遠藤 潤二2 (1.東京工芸大工、2.エフケー光学)

キーワード:位相シフト干渉法、干渉顕微鏡、多波長

干渉顕微鏡は光デバイスや生物細胞などの微小な位相物体の有力な計測手段として注目されている。我々は外乱の影響をほとんど受けない共通光路位相シフト干渉顕微鏡を開発してきた。今回、3色レーザー光源を用いる共通光路位相シフト干渉顕微鏡を構成し、それぞれの波長での高精度・高安定の位相計測を可能にしたので報告する。