[20a-P4-1~10] 3.15 シリコンフォトニクス

[20a-P4-2] 構造性複屈折によるシリコン偏光回折格子の設計

〇酒井 滋彬¹、安住 光司¹、津田 裕之¹ (1.慶應大工)

キーワード：偏光回折格子

偏光回折格子は高効率でかつ大きな回折角度を実現できることで注目されている。一般に、偏光回折格子は液晶分子の異方性を利用して構成される。しかし、光通信に用いる場合、耐光性や耐熱性、耐湿性などの信頼性が求められるため、有機材料よりも無機材料である方が望ましい。そこで、私たちはシリコン基板表面に構造性複屈折を持たせて1/2波長板を実現する構造を求め、この1/2波長板を基に偏光回折格子の設計を行った。