[20a-P4-1~10] 3.15 シリコンフォトニクス

[20a-P4-5] 局所配向誘引構造を組み込んだ垂直駆動液晶装荷シリコン細線MZI 型光スイッチの試作 (Ⅱ)

〇渡部 和宏^1,2、渥美 裕樹²、宇田 成孝^1,2、三浦 登¹、榊原 陽一^1,2 (1.明治大学、2.産総研)

キーワード：シリコンフォトニクス、液晶、光スイッチ

本研究ではシリコン細線導波路における低消費電力光スイッチに向けて、クラッド材料を液晶とした垂直電界駆動 MZI型光スイッチを試作した。
2 本の位相シフタ部の液晶の初期配向を局所配向誘引構造によって直交させることで基板全体への電圧印加時に屈折率の変化量に差に生じさせ位相シフタとして動作させた。
結果として波長ごとに位相差を調整するオフセット電圧を印加することで 2 ~ 3 Vの電位差でスイッチ動作を得ることができた。